Keysight B1505A 是一款專為功率器件表征設計的一體化解決方案，支持從亞皮安（sub-pA）到 10 kV / 1500 A 的寬範圍測量。它集成了高壓、大電流、多頻電容測量等功能，適用於 IGBT、MOSFET、GaN、SiC 等新型功率器件的研發與生產測試。以下是天天爱天天爽測試小編整理的其說明書，如需詳細電子版可聯係客服領取。

一、主要特點

寬範圍測量能力

電壓：±10 kV（直流偏置高達 3000 V）

電流：±1500 A（脈衝/直流）

電阻：μΩ 量級導通電阻測量

電流分辨率：< 10 fA（高精度模式下）

多模式測量

IV 特性測量：支持靜態和動態 IV 曲線掃描。

CV 測量：1 kHz 至 5 MHz 多頻電容測量（Ciss、Coss、Crss 等）。

脈衝測量：最短脈衝寬度 10 μs，適用於功率器件的開關特性測試。

熱測試：-50°C 至 +250°C 全自動溫度範圍。

模塊化設計

提供 10 個插槽，支持多種測量模塊（如 HVSMU、HCSMU、MFCMU 等）的靈活配置。

支持多達 5 個 3 kV 高壓通道，滿足複雜測試需求。

安全與自動化

內置互鎖裝置的測試夾具，確保高電壓/大電流測試的安全性。

自動切換高壓與大電流測量，無需重新布線。

支持全自動電容測量和柵極電荷測試。

軟件支持

基於 Windows 的 EasyEXPERT 軟件，提供直觀的圖形化界麵和自動化測試流程。

支持數據導出、報告生成和遠程控製。

二、技術指標

參數 規格

電壓測量範圍 ±10 kV（直流偏置高達 3000 V）

電流測量範圍 ±1500 A（脈衝/直流）

電阻測量範圍 μΩ 量級導通電阻

電流分辨率 < 10 fA（高精度模式下）

電容測量範圍 1 fF 至 10 μF（1 kHz 至 5 MHz）

脈衝寬度 10 μs 至 1000 s

溫度範圍 -50°C 至 +250°C

接口 GPIB、USB、LAN、觸發 I/O

三、硬件安裝

主機安裝

將主機放置在平穩的工作台上，確保通風良好。

連接電源線並接地。

模塊安裝

打開主機前蓋，將測量模塊插入空閑插槽，並擰緊固定螺絲。

連接模塊間的信號線纜（如需）。

外圍設備連接

通過 GPIB、USB 或 LAN 接口連接計算機。

連接探針台、測試頭等外圍設備。

四、軟件操作

EasyEXPERT 軟件啟動

在計算機上啟動 EasyEXPERT 軟件，選擇 B1505A 主機進行連接。

測試流程

選擇測試模式：從 IV、CV、脈衝 IV 等模式中選擇。

配置測試參數：設置電壓/電流範圍、掃描步長、脈衝寬度等參數。

執行測試：點擊“開始”按鈕，儀器自動執行測試並顯示結果。

數據分析：軟件提供圖形化結果展示，支持數據導出和報告生成。

自動化測試

用戶可通過軟件編寫自定義測試序列，滿足特殊測試需求。

五、典型應用

功率器件研發

用於 IGBT、MOSFET、GaN、SiC 等器件的 IV、CV 特性測試。

高壓/大電流測試用於評估器件的開關特性和可靠性。

失效分析

通過脈衝 IV 測試檢測器件的缺陷和退化機製。

工藝監控

在晶圓級測試中，用於監控工藝參數的變化。

六、維護與保養

定期校準

建議每 6 個月進行一次校準，確保測量精度。

清潔

定期清潔主機和模塊表麵，避免灰塵積累。

模塊更換

更換模塊時，需先關閉主機電源，並按照說明手冊操作。

七、注意事項

安全操作

測試時需佩戴防靜電手環，避免靜電損壞器件。

高壓測試時，確保測試區域無人員靠近。

環境要求

工作溫度：15°C 至 35°C

相對濕度：20% 至 80%（非凝結）

模塊兼容性

不同模塊的電壓/電流範圍不同，需根據測試需求選擇合適的模塊。

八、常見問題解答

Q：如何選擇合適的測量模塊？

A：根據測試需求選擇，例如：

高壓 IV 測試：選擇 HVSMU（高壓源測量單元）。

大電流 IV 測試：選擇 HCSMU（大電流源測量單元）。

電容測量：選擇 MFCMU（多頻電容測量單元）。

Q：如何實現多通道並行測試？

A：在主機中插入多個 SMU 模塊，並在軟件中配置多通道測試序列。

Q：測試結果異常怎麽辦？

A：檢查以下項目：

測試夾具和探針是否接觸良好。

模塊是否過熱（長時間測試後需冷卻）。

軟件參數設置是否正確。